真空扩散焊接过程中接头的质量取决于一系列工艺参数，主要是温度、压力和保持时间。焊接接头形成的扩散过程被热激活，因此提高焊接温度会刺激它们的发展。为降低压缩压力，缩短焊接时间，焊接部位的加热温度应设置得尽可能高；金属对塑性变形的抵抗力较低。同时，有必要考虑到结构转变、异质扩散、共晶形成和其他导致被焊接金属物理机械性能变化的过程的发展的可能性。在许多情况下，可以排除使用外部压力来压缩焊接工件，利用加热具有不同线性膨胀系数的材料时产生的热应力现象。焊接同轴组装的毛坯时，母头的线膨胀系数必须小于公头的线膨胀系数。
                                                 

比压影响扩散结合的形成速率和焊接工件的累积变形量。在大多数情况下，比压越高，焊接时间越短，变形越大。因此，当在压力机中使用高比压（高达几十兆帕）进行焊接时，化合物形成的时间可以以秒为单位进行测量，而结合区的金属变形量可以达到百分之几十。当使用低比压（十分之一兆帕）进行焊接时，焊接时间可以以小时为单位计算，但要连接的坯料的变形仅为百分之几的几分之一。因此，选择特定压力的任务应考虑到结构类型、技术方案和待连接坯料的几何尺寸，焊接时间的选择应考虑温度和比压。焊接异种材料时，焊接时间的增加可以伴随着减少由于异质扩散过程的发展导致在连接区形成脆性金属间相，机械特性复合。